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| 科研成果 |
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| 论文题目： |
原子力显微镜纳米沉积加工温度仿真 |
| 第一作者： |
刘增磊;高爱莲;袁帅;焦念东 |
| 参与作者： |
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| 联系作者： |
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| 发表刊物： |
纳米技术与精密工程 |
| 发表年度： |
2017 |
| 卷,期,页： |
15,4,267-272 |
| 论文出处： |
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| 第一作者所在部门： |
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| 论文编号： |
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| 论文摘要： |
原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)纳米沉积加工是一种重要的纳米焊接手段,其加工机理存在场致蒸发和热致蒸发两种可能.为明确AFM沉积加工的机理,本文通过仿真研究了AFM纳米沉积加工过程中的温度变化,分析了加工电流的波形和空气介质对沉积的影响,并在此基础上建模,分别研究瞬态电流和稳态电流引起的温度变化.通过仿真发现,沉积中温度确有上升,但远没有达到引起热蒸发的程度.验证了AFM纳米沉积加工是基于场蒸发的原理. |
| 论文全文： |
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| 其他备注： |
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