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| 科研成果 |
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| 论文题目： |
基于光诱导电化学沉积的金属微电极加工方法 |
| 第一作者： |
关涛;丛培田;刘柱 |
| 参与作者： |
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| 联系作者： |
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| 发表刊物： |
传感技术学报 |
| 发表年度： |
2017 |
| 卷,期,页： |
30,5,650-654 |
| 论文出处： |
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| 第一作者所在部门： |
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| 论文编号： |
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| 论文摘要： |
纳米材料具有独特的物理化学性质,在纳米电子器件和生物传感等方面显示了巨大的应用潜力。基于二维纳米材料的器件,需要利用金属电极来构建传感器或者场效应晶体管结构。目前,已有一些方法来制备金属电极,如光刻、聚焦离子束及纳米压印等方法,但是这些方法通常需要昂贵的设备,并且操作非常复杂。提出采用基于光诱导的金属纳米电极沉积方法,通过对多个实验参数(包括输入交流电信号的频率、幅值、溶液浓度以及氢化非晶硅层厚度)的分析,得到了优化的金属电极沉积条件。在此基础上,利用光学显微镜、原子力显微镜和扫描电子显微镜对制备的金属电极进行了表征。 |
| 论文全文： |
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| 其他备注： |
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