| |
| 科研成果 |
|
|
 |
|
| 论文题目： |
基于随机方法的AFM探针位置最优估算研究 |
| 第一作者： |
袁帅;尧晓;栾方军;郭耸;冯吉远 |
| 参与作者： |
|
| 联系作者： |
|
| 发表刊物： |
仪器仪表学报 |
| 发表年度： |
2017 |
| 卷,期,页： |
38,9,2120-2129 |
| 论文出处： |
|
| 第一作者所在部门： |
|
| 论文编号： |
|
| 论文摘要： |
由于受到驱动器PZT(Pb Zr Ti O3)非线性、系统温漂与其他不确定因素的影响,原子力显微镜(AFM)探针在任务空间的位置存在不确定性。这严重影响了AFM探针观测与操作的效率,如何减小探针位置的不确定性,实现AFM探针的精确定位成为亟待解决的问题。针对此问题,提出用概率分布的方式描述探针位置的不确定性,通过建立探针运动模型,结合基于局部扫描的观测模型,采用Kalman滤波对探针位置进行最优估算。针对算法的实现,设计了模型参数标定方案。通过仿真和实验的结果验证了算法的有效性与可行性,实现了探针在任务空间中的精确定位,提高了纳米操作效率。 |
| 论文全文： |
|
| 其他备注： |
|
| 附件下载： |
|
|
|
