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论文题目: SNMP在半导体装备控制系统中的应用
第一作者: 王亚楠,刘明哲,叶家发
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发表刊物: 机械设计与制造
发表年度: 2013
卷,期,页: ,1,72-74
论文出处: 机械设计与制造
第一作者所在部门:
论文编号:
论文摘要: 半导体装备系统通常由具有不同功能的可控部件组成,这些部件共同实现了半导体装备系统的底层输入输出等功能。针对半导体装备控制系统对不同功能的可控部件的一致性控制需求,实现了一种基于简单网络管理协议的分布式I/O通信系统,系统不仅可对所有支持SNMP协议的设备进行通信和控制,还对其他不支持SNMP协议的设备使用一种SNMP封装的方法,使得系统对所有设备能够统一采用SNMP的方式进行通信,从而满足半导体装备控制系统的一致性控制需求。
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