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科研成果 |
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论文题目: |
SNMP在半导体装备控制系统中的应用 |
第一作者: |
王亚楠,刘明哲,叶家发 |
参与作者: |
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联系作者: |
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发表刊物: |
机械设计与制造 |
发表年度: |
2013 |
卷,期,页: |
,1,72-74 |
论文出处: |
机械设计与制造 |
第一作者所在部门: |
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论文编号: |
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论文摘要: |
半导体装备系统通常由具有不同功能的可控部件组成,这些部件共同实现了半导体装备系统的底层输入输出等功能。针对半导体装备控制系统对不同功能的可控部件的一致性控制需求,实现了一种基于简单网络管理协议的分布式I/O通信系统,系统不仅可对所有支持SNMP协议的设备进行通信和控制,还对其他不支持SNMP协议的设备使用一种SNMP封装的方法,使得系统对所有设备能够统一采用SNMP的方式进行通信,从而满足半导体装备控制系统的一致性控制需求。 |
论文全文: |
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其他备注: |
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附件下载: |
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